목적
1) 정밀금형 이온빔 연마기술 개발을 목표로 균일이온빔 연마공정 개발과 금형표면처리용
2) 준양산장치를 제작하고 대면적이온조사에 의한 양산화 공정을 개발

특징
1) 표면거칠기 정도에 따른 최적 이온빔 연마공정 확립 Xe+ , 15kV, 150 μ A/cm2 , 60도, 2시간
    -> 200~ 300nm로 감소
2) 200~300nm대의 이온빔 표면연마 Xe+ , 5kV, 150 μ A/cm2 , 45도, 4시간 -> 100nm로 감소
3) 100nm대의 이온빔 표면연마 Xe+ , 5kV, 150 μ A/cm2 , 60도, 1시간 -> 수십nm로 감소