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제품의 생산성을 높이기 위해 Batch Type 챔버내에서 이루어지던 여러가지순서의 공정을 각각의
공정 챔버로 나누어 연결한 장비를 In Line system이라 말합니다.
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Heating,
Etching, Process, Buffer, Unloading 챔버로구성
보통 MSS 방식을 채용하나 때에 따라서는 Arc Ion Plating 방식 채택 가능
1) 큰 Size의 Sheet 기판에 적합
2) 고품질과 신뢰성
3) 자동화 공정
4) 각 Chamber별 Database 구축
5) 고효율 타겟 Erosion ( 40% )
6) 단계별 자동화 공정
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1)
Flat panel display용의 ITO, metal and AR coating
2)
자동차
부품의 CrN coating
3)
전자부품의 Metal coating
4)
Cellular telephone cover용의
EMI coating
5)
Half mirror coating
6)
장식품의 TiN coating |
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