상기 제품은 상하이동 및 챔버 개폐동작 모두 공압식으로 작동하며, 올바른 동작 구현을 위하여 linear motion 방식도 채용하였습니다. 또 기구적 동작에 의하여 생길수 있는 particle도 전혀 노출되지 않도록 동작부, 윤활부 모두를 작업 영역에서 분리하였습니다.
일반 산업용에서부터 반도체 LCD 및 PDP장비에도 적용 가능한 확장성을 가지고 있으며, maintenance도 편리하게끔 설계하였습니다. 최근의 7G LCD line에도 적용되고 있습니다. 단, 이밸브는 대기와 진공사이에서만 사용 가능합니다.