i40D |
i60FA |
i600S |
|
챔버사이즈 |
직경 400 x 400H |
650x600x600 |
600x600x600 |
코팅시스템 |
일반 Arc |
Filtered Arc |
Sputtering |
유니포미티 |
135mm H x 3 axes |
130mm H x 6 axes |
300mm H x 6 axes |
MFC |
Ar, C2H2, N2 |
Ar, C2H2, N2 |
Ar, C2H2, N2 |
타겟 |
5inch x 15mm t |
70mm dia x 12mm t |
16inch x 5 inch x12mmt |
에칭(크리닝방식) |
Glow Discharge |
Ion Beam (6KW, DC) |
Glow Discharge |
버퍼층 |
Cr |
없음 |
Cr |
코팅두께 |
1um 이하 |
0.5um 이하 |
일반 두께 |
코팅박막 특징 |
smooth, Hard |
Very smooth, very hard |
Smooth, hard |
